ฮีตเตอร์แบบสายก๊าซ

รายละเอียด

ฮีตเตอร์แบบสายก๊าซของ Watlow ถูกออกแบบมาให้ควบคุมอุณหภูมิในท่อก๊าซเพื่อป้องกันการควบแน่นในท่อก๊าซ

 

เตตระเอทิลออร์โธซิลิเกต (TEOS) โบรอนไตรคลอไรด์(BCI3) อะลูมิเนียมคลอไรด์(AICI3) คลอรีนไตรฟลูออไรด์(CIF3) ไดคลอโรไซเลน(DCS) คือก๊าซที่ควบแน่นหรือเหลวเนื่องจากการเลื่อนเฟสที่อุณหภูมิต่ำ ในกระบวนการของเซมิคอนดักเตอร์ การควบแน่นนั้นจะเกิดขึ้นในท่อก๊าซและแอ่งน้ำฝักบัวก่อนจะฉีดเข้าไปในห้องสุญญากาศ ซึ่งข้อบกพร่องจะเกิดขึ้นเมื่อเวเฟอร์ก๊าซเหลวที่เกิดจากการควบแน่นถูกฉีดเข้าไปในห้องสุญญากาศ การให้การความร้อนอย่างสม่ำเสมอในท่อด้วยท่อแก๊สจะสามารถป้องกันการควบแน่นได้ โดยทั่วไปแล้ว สาย TEOS จะทำความร้อนสูงกว่า 194°F (90°C) และ BCl3 ที่สูงกว่า 86°F (30°C) ขึ้นอยู่กับความดันและอัตราการไหลซึ่งอุณหภูมิที่เหมาะสมจะต่างกันไปตามพารามิเตอร์ของแต่ละกระบวนการ

การใช้งานและคุณสมบัติ

ง่ายต่อการติดตั้งระบบสองส่วน สะดวกและเหมาะสมกับการองค์ประกอบท่อก๊าซ

 

การออกแบบเครื่องทำความร้อนที่ปรับให้เข้ากับการใช้งานง่าย ช่วยให้วิศวกรปรับแต่งและประยุกต์ใช้ในท่อก๊าซได้ย่างง่ายดาย และช่วยให้สามารถสร้างต้นแบบการทำงานได้อย่างรวดเร็วในการกำหนดการกระจายพลังงานและการปรับปรุงการทำงาน